晶圆视觉检测，晶圆外观缺陷检测方案

发布日期：2021-05-17

下面给大家介绍一例晶圆视觉检测的方案，检测内容主要为破损，裂粒，气孔，镍层不良及尺寸。 一：检测内容及要求 检测工件面积： 长1.44mm*宽1.43mm*高1.65mm的样件的外观、尺寸检测 检测内容：破损，裂粒，气孔，镍层不良 1:底部正光检...