晶圆视觉检测，晶圆外观缺陷检测方案

下面给大家介绍一例晶圆视觉检测的方案，检测内容主要为破损，裂粒，气孔，镍层不良及尺寸。

一：检测内容及要求

检测工件面积：

长1.44mm*宽1.43mm*高1.65mm的样件的外观、尺寸检测

检测内容：破损，裂粒，气孔，镍层不良

1:底部正光检测外观

2:侧面正光检测外观

3:侧面正光检测外观

4:侧面正光检测外观

5:侧面正光检测外观

6:顶部正光检测外观

注明:以上检测项目,均需要在影像下清晰可见才能检测

检测效率：每分钟检测数量250-350件(根据样件送料速度)。

分工段进行:按照检测内容细分检测步骤.

二： 设备组成及主要机构

整体构成：尺寸：900*800*1850 mm

型号:INTSOFT_T300

1:盈泰德科技视觉检测软件

2:工业电脑

3:显示器19寸

4:工业相机:6套,底部正光1个，侧面正光4个，顶部正光1个

5:工业镜头: 6套FA工业镜头

6:专业玻璃盘

7:电磁阀

8:减速机

9:振动柜

10:进料设备（振动盘、直振、控制器）

 

三：1底部正光检测方式

底部检测良品分析图:OK

三：1底部正光检测方式

底部检测不良品分析图(裂粒):NG

三：1底部正光检测方式

底部检测不良品分析图(镍层不良):NG

三：2侧面正光检测方式

侧面检测良品分析图:OK

三：2侧面正光检测方式

侧面检测不良品分析图(破损):NG

三：2侧面正光检测方式

顶部检测不良品分析图(气孔):NG

三：3侧面正光检测方式

侧面检测良品分析图:OK

三：3侧面正光检测方式

侧面检测不良品分析图(破损):NG

三：3侧面正光检测方式

顶部检测不良品分析图(气孔):NG

四.系统安装要求:

设备放置的检测空间:在流水线边单独安装盈泰德视觉检测系统，需要保证有足够的空间以安装设备。

环境温度：0-50摄氏度；

空气湿度：90% RH以下；

电子干扰： 为设备提供电子干扰较小的地方。

电源： 交流220V，50Hz， 耗电＜1KVA，气压0.35～0.7MPa

以上为晶圆检测方案的介绍，如果你的工业生产线中也需要用到类似的视觉检测技术，那么不妨和我们盈泰德科技聊聊，我们会免费从一个专业的角度来给你一个合适的方案，即使没达成合作，我们也希望能多认识一个朋友。